碳化硅光学试验

检测项目

1.透射特性检测：光谱透射率测量、特定波段透射率、透射光谱曲线分析、直线透射比。

2.反射特性检测：光谱反射率测量、漫反射与镜面反射分析、反射光谱曲线、反射损耗测试。

3.吸收特性检测：光谱吸收系数计算、吸收边测定、亚带隙吸收分析、吸收深度测试。

4.折射率与色散检测：折射率精确测量、色散关系曲线、双折射特性分析、光学均匀性测试。

5.发光特性检测：光致发光光谱、发光强度与峰位、发光寿命、缺陷发光分析。

6.表面光学质量检测：表面粗糙度光学表征、散射损耗测量、表面缺陷光学成像。

7.光学带隙检测：直接带隙与间接带隙测定、带隙能量计算、温度依赖性分析。

8.光学常数检测：复折射率测定、消光系数测量、光学常数谱分析。

9.热光学性能检测：折射率温度系数、热光系数测量、高温下光学性能稳定性。

10.抗激光损伤阈值检测：激光损伤阈值测量、损伤形貌分析、抗激光辐照性能测试。

11.光学均匀性检测：材料内部折射率分布均匀性、条纹度、波前畸变分析。

检测范围

碳化硅单晶衬底、碳化硅同质外延片、碳化硅异质外延材料、碳化硅光学窗口、碳化硅陶瓷基板、碳化硅晶锭、碳化硅抛光片、碳化硅薄膜、掺杂型碳化硅晶片、半绝缘碳化硅材料、碳化硅光学透镜坯料、碳化硅复合光学材料、碳化硅涂层与镀膜样品、碳化硅功率器件晶圆、碳化硅发光器件外延结构、碳化硅紫外探测器材料

检测设备

1.光谱椭偏仪：用于高精度测量碳化硅薄膜及体材料的复折射率、厚度和光学常数；可分析宽光谱范围内的光学特性。

2.傅里叶变换红外光谱仪：用于测量碳化硅在中红外至远红外波段的光谱透射与反射特性；特别适用于分析其声子吸收特征。

3.紫外-可见-近红外分光光度计：用于测量碳化硅在紫外、可见及近红外波段的透射率、反射率和吸收光谱；是带隙分析的基础设备。

4.光致发光光谱仪：用于激发并采集碳化硅材料的发光光谱；可分析其缺陷类型、杂质能级及材料质量。

5.积分球光谱测量系统：配备积分球附件，用于精确测量样品的总透射率、总反射率及漫反射特性，减少测量几何误差。

6.激光共聚焦显微镜：用于对碳化硅样品表面进行高分辨率三维形貌成像，并结合光学分析功能测试表面光学散射。

7.激光损伤阈值测试系统：采用高能量脉冲激光辐照样品表面，通过在线监测系统判定并分析碳化硅材料的抗激光损伤能力。

8.显微光谱分析系统：将显微成像与光谱分析结合，可实现碳化硅样品微区（如缺陷、畴区）的定点光谱采集与分析。

9.热光系数测试仪：在可控温环境下，精确测量碳化硅材料折射率随温度的变化，获取其热光系数。

10.波前干涉仪：用于检测碳化硅光学元件的面形精度、光学均匀性以及内部应力引起的波前畸变。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.