热阴极电离真空计检测技术指南
热阴极电离真空计的核心检测包括以下七类项目:
阴极发射电流稳定性测试
电离效率校准验证
真空度测量线性度分析
高压电源输出特性检测
离子收集极灵敏度测试
温度漂移补偿功能验证
电磁兼容性(EMC)测试
本检测方案适用于以下场景:
压力测量范围:1×10
-3
-8
工业应用领域:半导体镀膜设备、粒子加速器、航天器真空环境模拟舱
设备类型:包含BA规、冷阴极复合规等衍生型号
环境适应性检测:温度(-20℃~50℃)、湿度(≤85%RH)、振动(5~2000Hz)
采用三级递进式检测体系:
初级校准
静态膨胀法:通过标准容积变化产生已知压力值
动态流量法:利用分子泵组建立稳定气流状态
中级验证
四极质谱比对法:同步监测残余气体成分
阶梯降压测试:以0.5个数量级步进验证线性度
高级诊断
傅里叶红外分析:检测灯丝氧化层厚度
电子能谱扫描:分析电极表面污染情况
-9
漏率≤1×10
-10
-15
分辨率0.1fA
采样率1MHz
检测限0.1at%
检测过程应遵循ISO 21360:2019标准要求,针对不同量程段采用差异化的校验策略:
高真空段(10
-5
超高真空段(<10
极限真空验证:结合低温泵组建立无油真空环境
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
其他证书详情(可咨询在线工程师):
荣誉资质 国防经济发展促进会 AAA级信用证书
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。