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热阴极电离真空计检测

原创
关键字: 热阴极电离真空计测试案例,热阴极电离真空计项目报价,热阴极电离真空计测试标准
发布时间:2025-02-18 16:57:57
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热阴极电离真空计检测技术指南

检测项目

热阴极电离真空计的核心检测包括以下七类项目:

阴极发射电流稳定性测试

电离效率校准验证

真空度测量线性度分析

高压电源输出特性检测

离子收集极灵敏度测试

温度漂移补偿功能验证

电磁兼容性(EMC)测试

检测范围

本检测方案适用于以下场景:

压力测量范围:1×10

-3

-8

工业应用领域:半导体镀膜设备、粒子加速器、航天器真空环境模拟舱

设备类型:包含BA规、冷阴极复合规等衍生型号

环境适应性检测:温度(-20℃~50℃)、湿度(≤85%RH)、振动(5~2000Hz)

检测方法

采用三级递进式检测体系:

初级校准

静态膨胀法:通过标准容积变化产生已知压力值

动态流量法:利用分子泵组建立稳定气流状态

中级验证

四极质谱比对法:同步监测残余气体成分

阶梯降压测试:以0.5个数量级步进验证线性度

高级诊断

傅里叶红外分析:检测灯丝氧化层厚度

电子能谱扫描:分析电极表面污染情况

检测仪器

仪器类型技术参数功能说明
标准真空系统极限真空≤5×10

-9

漏率≤1×10

-10

提供基准真空环境
数字化微电流计量程10

-15

-3

分辨率0.1fA

电离电流精密测量
多通道数据采集系统24位ADC精度

采样率1MHz

实时监测动态参数
X射线光电子能谱仪空间分辨率≤3μm

检测限0.1at%

表面成分分析

特别说明

检测过程应遵循ISO 21360:2019标准要求,针对不同量程段采用差异化的校验策略:

高真空段(10

-3

-5

超高真空段(<10

-5

极限真空验证:结合低温泵组建立无油真空环境

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.

内容-荣誉资质

其他证书详情(可咨询在线工程师):

荣誉资质 国防经济发展促进会 AAA级信用证书

合作客户(部分)

1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;

2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;

3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;

4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。

合作客户