热阴极电离真空计检测

热阴极电离真空计检测技术指南

检测项目

热阴极电离真空计的核心检测包括以下七类项目：

阴极发射电流稳定性测试

电离效率校准验证

真空度测量线性度分析

高压电源输出特性检测

离子收集极灵敏度测试

温度漂移补偿功能验证

电磁兼容性（EMC）测试

检测范围

本检测方案适用于以下场景：

压力测量范围：1×10

-3

-8

工业应用领域：半导体镀膜设备、粒子加速器、航天器真空环境模拟舱

设备类型：包含BA规、冷阴极复合规等衍生型号

环境适应性检测：温度(-20℃~50℃)、湿度(≤85%RH)、振动(5~2000Hz)

检测方法

采用三级递进式检测体系：

初级校准

静态膨胀法：通过标准容积变化产生已知压力值

动态流量法：利用分子泵组建立稳定气流状态

中级验证

四极质谱比对法：同步监测残余气体成分

阶梯降压测试：以0.5个数量级步进验证线性度

高级诊断

傅里叶红外分析：检测灯丝氧化层厚度

电子能谱扫描：分析电极表面污染情况

检测仪器

特别说明

检测过程应遵循ISO 21360:2019标准要求，针对不同量程段采用差异化的校验策略：

高真空段(10

-3

-5

超高真空段(＜10

-5

极限真空验证：结合低温泵组建立无油真空环境

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.