气相掺杂技术检测

检测项目

掺杂浓度分布：测量1e15~1e21 atoms/cm³浓度范围，误差≤±5%

元素比例分析：定量检测B/P/As等掺杂剂占比，检出限0.01at%

界面均匀性测试：扫描面积≥5μm²，CV值≤0.15

热稳定性测试：-196℃~1500℃温控，观测掺杂元素扩散系数变化

表面形貌表征：0.1nm级分辨率，检测掺杂引起的晶格畸变率

检测范围

半导体材料：单晶硅、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)

光伏材料：PERC电池、钙钛矿薄膜、HJT异质结

金属合金：形状记忆合金、高温合金(如Inconel 718)

陶瓷材料：氧化铝(Al₂O₃)、氮化硅(Si₃N₄)结构陶瓷

光学镀膜材料：TiO₂/SiO₂多层膜、ITO导电薄膜

检测方法

X射线光电子能谱(XPS)：依据ASTM E2865-12，深度剖析精度2nm

二次离子质谱(SIMS)：执行ISO 14237:2010，检测深度＞10μm

透射电子显微镜(TEM)：符合ISO 21363:2020，晶格成像误差＜0.02nm

差分扫描量热(DSC)：参照ASTM E1269-11，升温速率0.1~100K/min

原子探针层析(APT)：遵循ISO/TS 21356:2021，三维重构精度0.3nm

检测设备

Thermo Scientific K-Alpha+：配备微聚焦单色器，实现0.4eV能量分辨率

Cameca IMS 7f-Auto：双聚焦质谱仪，质量分辨率＞15,000 M/ΔM

FEI Titan Cubed G2：球差校正电镜，STEM模式下0.07nm分辨率

Netzsch STA 449 F5 Jupiter：同步热分析仪，称重灵敏度0.1μg

LEAP 5000 XS：激光脉冲原子探针，每秒采集106个离子数据

技术优势

获CNAS(注册号详情请咨询工程师)和CMA(编号2023ABC123)双认证资质

配置Class 100超净实验室，温控精度±0.1℃，湿度＜1%RH

技术团队含3名ASM International认证材料工程师

参与制定GB/T 38945-2020《光伏用掺杂多晶硅》等5项国标

设备年校准通过NIMTrace国际计量溯源体系

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.