半导体应变计检测

检测项目

灵敏度系数检测：测量灵敏度K值范围0.5-200 mV/V

线性度误差分析：全量程偏差≤±0.5% FS

蠕变特性测试：0.5小时蠕变量＜0.03% RO

温度特性验证：-50℃~300℃温漂系数±0.02%/℃

疲劳寿命测试：10^6次循环电阻变化率＜0.1%

检测范围

硅基半导体应变计（单晶/多晶硅）

金属薄膜应变计（康铜/卡玛合金）

聚合物基底柔性应变计

高温陶瓷基底应变计（Al₂O₃/SiC）

复合半导体材料（GaAs/InP）

检测方法

ASTM E251-2019：机械性能与电学特性联合测试法

ISO 4965:2020：应变计温度补偿特性测定规程

GB/T 13992-2020：金属电阻应变计技术要求

IEC 62047-25:2016：微机电系统应变计测试规范

GB/T 3354-2014：复合材料应变测量方法

检测设备

Keysight B1500A半导体分析仪：分辨率0.1μΩ，支持DC-1MHz阻抗测试

Instron 6800系列万能试验机：载荷精度±0.5%，应变速率0.001-500mm/min

FLIR A65热成像系统：温度分辨率0.03℃，用于温漂特性监测

Polytec MSA-600微系统分析仪：激光测振精度0.1nm，频响0-24MHz

Espec PL-3K环境试验箱：温控范围-70℃~300℃，波动度±0.5℃

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.