红外光学薄膜检测

检测项目

膜层厚度均匀性：测量范围0.1-50μm，误差≤±2%

折射率精度：波长范围2-14μm，偏差≤±0.005

红外光谱透过率：波段覆盖3-5μm及8-12μm，透过率误差≤±0.5%

膜层附着力：划痕法测试临界载荷≥20N

环境稳定性：高温（85℃/500h）、低温（-40℃/500h）、湿热（85%RH/240h）循环测试

检测范围

硫化锌（ZnS）基底镀膜器件

硒化锌（ZnSe）红外窗口片

氟化镁（MgF₂）增透膜组件

硅基（Si）非制冷红外探测器滤光片

锗（Ge）基长波红外光学元件

检测方法

膜厚测量：ASTM B588-88(2020)台阶仪法 / GB/T 26332-2010干涉法

折射率测试：ISO 14707-2015椭圆偏振法 / GB/T 26331-2010分光光度法

透过率测试：ASTM E903-2021积分球法 / GB/T 26331-2010直接测量法

附着力测试：ASTM D3359-2023划格法 / GB/T 9286-2021胶带剥离法

环境试验：MIL-STD-810H温度冲击法 / GB/T 2423.34-2012湿热循环法

检测设备

Tencor P-17台阶仪：分辨率0.1nm，支持非接触式膜厚测量

J.A. Woollam M-2000DI椭偏仪：光谱范围245-1700nm，支持变角入射分析

PerkinElmer Lambda 1050+分光光度计：波长覆盖175-3300nm，配备积分球附件

CETR UMT TriboLab划痕测试仪：最大载荷50N，实时摩擦力监测功能

TABAI ESPEC SH-642恒温恒湿箱：温度范围-70℃~150℃，湿度控制精度±2%RH

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.