辐射式真空计检测

检测项目

1.测量范围验证：10⁻⁶~10Pa区间分段测试

2.灵敏度校准：2%误差范围内标定电离电流曲线

3.线性度误差分析：全量程段偏差≤1.5%FS

4.温度稳定性测试：-20℃~+50℃环境下的示值漂移量

5.响应时间测定：90%量程阶跃变化时的响应≤3s

检测范围

1.半导体制造用高纯硅片镀膜腔室

2.航天器推进系统氙气储罐

3.医用直线加速器束流管道

4.同步辐射光源真空束线组件

5.低温超导磁体杜瓦容器

检测方法

ASTME2971-22《StandardPracticeforCalibrationofVacuumTransferStandards》

ISO3567:2021《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》

GB/T34874-2017《真空计校准规范》

GB/T32213-2015《电离真空计测试方法》

ISO21360:2019《Vacuumtechnology-Standardmethodsformeasuringvacuum-gaugeperformance》

检测设备

1.INFICONBPG400标准漏孔校准仪（精度0.5%）

2.Agilent5310A分子泵机组（极限真空510⁻⁷Pa）

3.LeyboldCTR90全自动校准系统（温度控制0.3℃）

4.MKS670B信号采集分析仪（采样率100kHz）

5.EdwardsSTP-4503涡轮分子泵（抽速450L/s）

6.PfeifferHPT200磁悬浮转子规（参考级标准）

7.CanonANELVAMRG-1000残余气体分析仪（质量数1-100amu）

8.VarianUHV-24N超高真空法兰组件（密封泄漏率＜110⁻Pam/s）

9.KurtJ.LeskerAGC-4自动气体控制系统（流量精度0.25%）

10.NationalInstrumentsPXIe-4143精密源表（24位ADC分辨率）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.