扫描电子显微镜检测

检测项目

1. 表面形貌观察：分辨率≤3nm（15kV），工作距离5-10mm

2. 元素成分分析：EDS能谱范围0.1-20keV，检出限≥0.1wt%

3. 镀层厚度测量：精度±50nm（BSE模式）

4. 颗粒粒径分布：测量范围10nm-100μm（SEI模式）

5. 断口形貌分析：景深≥1mm（低倍模式）

检测范围

1. 金属材料：铝合金晶界腐蚀分析、钢中夹杂物鉴定

2. 半导体器件：芯片焊点失效分析、晶圆表面缺陷检测

3. 生物样品：植物细胞壁结构观察、骨组织矿化程度测试

4. 陶瓷材料：烧结体孔隙率测定、涂层界面结合状态分析

5. 纳米材料：量子点分散性评价、碳纳米管直径测量

检测方法

ASTM E1508-98(2020)：能谱仪定量分析校准规范

ISO 16700:2016：扫描电镜放大倍率校准规程

GB/T 27788-2020：微束分析扫描电镜图像放大倍率校准方法

GB/T 17359-2023：微束分析能谱法定量分析通则

ISO 21363:2020：纳米颗粒尺寸分布的TEM/SEM测定法

检测设备

1. Thermo Scientific Apreo 2：场发射SEM，分辨率0.6nm@1kV

2. ZEISS GeminiSEM 500：镜筒内探测器系统，低电压成像

3. Hitachi SU8000系列：冷场发射源，样品台倾斜±90°

4. JEOL JSM-7900F：Schottky场发射枪，束流稳定性≤0.4%/h

5. TESCAN MIRA4：四探头BSE探测器系统

6. Phenom ProX Desktop SEM：快速成像台式电镜

7. COXEM EM-30系列：低真空模式（10-400Pa）

8. Bruker Quantax EDS：硅漂移探测器（能量分辨率≤123eV）

9. Oxford Instruments Ultim Max 170mm² EDS：大面积能谱仪

10. Gatan MonoCL4：阴极荧光光谱联用系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.