平面坐标检测

检测项目

1.平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏离值（0.02mm/m）
2.坐标定位精度：X/Y轴单轴定位误差≤3μm+4L/1000
3.轴线正交度：X-Y轴夹角偏差≤5角秒
4.重复定位精度：同点多次测量离散值≤1.5μm
5.原点复位精度：坐标系复位偏差≤2μm

检测范围

1.机械加工件：数控机床加工件/模具模仁
2.PCB基板：高密度互连电路板/柔性线路板
3.光学元件：光栅尺/棱镜/反射镜基体
4.半导体器件：晶圆载具/引线框架
5.航空航天部件：发动机叶片安装座/航电组件安装板

检测方法

1.三坐标测量法（ISO10360-2）：采用接触式探针进行空间点采集
2.激光干涉法（GB/T17421.2）：基于多普勒效应测量线性位移误差
3.网格板比对法（ASTME2848）：使用标准网格板进行图像分析
4.电子准直仪法（ISO230-3）：通过光电传感器测量轴线偏转角度
5.双频激光干涉法（GB/T11336）：采用双波长消除环境干扰因素

检测设备

1.HexagonGlobalS三坐标测量机：配备HP-O扫描探头（分辨率0.1μm）
2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
3.MitutoyoCrysta-ApexS系列影像仪：双远心镜头（放大倍率200X）
4.ZygoVerifireMST干涉仪：平面度测量精度λ/100（λ=632.8nm）
5.APIXDLaser六维激光测量系统：同时测量6自由度误差
6.KeyenceLM系列光学尺：分辨率1nm（最大量程50m）
7.ZeissACCURA三坐标机：VASTXTgold探头（各向异性≤0.3μm）
8.Agilent5530动态校准仪：频响范围0-50Hz
9.NikonNEXIVVMZ-S系列视频测量系统：配备15:1变焦镜头
10.SIOSSP-2000平面度仪：非接触式激光扫描（采样率1000点/s）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.