吸气剂离子泵检测

检测项目

1.极限真空度测试：测量泵体在稳定工作状态下的最低压力值（10^-7~10^-9Pa量级）
2.抽气速率测定：测试单位时间内气体排出量（5~2000L/s范围）
3.漏率稳定性验证：采用氦质谱法检测系统泄漏率（≤110^-10Pam³/s）
4.启动特性分析：记录从常压到工作真空的时间曲线（≤30分钟达标）
5.材料放气率测试：量化腔体材料表面气体释放量（＜510^-6PaL/(scm)）
6.磁场均匀性检测：测量磁极间隙磁场强度偏差（2%以内）

检测范围

1.钛升华泵系列：包括单级/多级钛丝蒸发结构
2.溅射离子泵：涵盖二极型、三极型及磁控管型
3.非蒸散型吸气剂泵：锆铝/锆石墨复合吸气材料
4.复合式真空机组：离子泵与分子泵串联系统
5.特种材料腔体：不锈钢316L、钛合金Ti-6Al-4V等超高真空容器

检测方法

ASTME595-07(2019)：真空材料总质量损失与挥发物测试标准
ISO21360-3:2019真空技术-泵性能测量方法第三部分
GB/T3163-2007真空技术术语
GB/T32294-2015溅射离子泵性能测试方法
ISO1608-2:2020蒸气真空泵性能测定第二部分
GB/T34872-2017钛升华泵技术条件与试验方法

检测设备

1.LeyboldPHOENIXL300氦质谱检漏仪（灵敏度110^-12mbarL/s）
2.AgilentUHV-24四极质谱仪（质量数1-200amu）
3.INFICONXT7M真空计组（量程10^-9~1000Torr）
4.PfeifferHPT200分子泵机组（极限真空510^-10mbar）
5.StanfordResearchSystemsRGA300残余气体分析仪
6.LakeShore475DSP高斯计（精度0.05%）
7.MKS925B微压差传感器（分辨率0.001Pa）
8.HidenHAL3F501气体分析系统
9.EdwardsSTP-4503A涡轮分子泵站
10.VarianUHV-24N宽量程电离规组

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.