双缝衍射检测

检测项目

1.双缝宽度偏差检测：测量实际缝宽与标称值的差异（0.1μm）
2.缝间距重复性验证：测试相邻双缝中心距波动范围（≤0.5μm）
3.衍射角精度分析：测定一级衍射角与理论值的偏离度（0.05）
4.光强分布均匀性测试：量化1级衍射峰强度比（0.95-1.05）
5.基底材料透射率验证：测量400-800nm波段透射率（≥98%）

检测范围

1.光学薄膜类：抗反射镀膜基板、分光镜涂层
2.半导体材料：硅晶圆光刻掩模版、纳米压印模板
3.金属微结构：精密蚀刻铜网、微机电系统组件
4.高分子材料：光致抗蚀剂图形化表面
5.透明介质：石英玻璃微流控芯片

检测方法

1.ASTME2387-19：光学元件衍射特性标准测试规程
2.ISO13697:2006：激光束衍射法表面粗糙度测量
3.GB/T13752-2020：激光衍射法微结构尺寸测量规范
4.ISO10110-8:2020：光学元件衍射效率测试方法
5.GB/T26189-2010：光学系统衍射受限分辨率检测

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/100
2.KeyenceLS-9010激光扫描仪：最小分辨率0.01μm
3.OlympusLEXTOLS5000共聚焦显微镜：横向分辨率120nm
4.Newport818-ST光电探测器：光谱响应350-1100nm
5.ThorlabsCCS200光谱仪：波长精度0.2nm
6.Agilent5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.1nm
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm
8.HamamatsuC12880微型光谱模块：积分时间10ms-10s
9.RenishawinVia显微拉曼系统：空间分辨率1μm
10.NikonMM-400测量显微镜：物镜放大倍率50X-1500X

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.