双等离子体离子源检测

检测项目

1.束流密度均匀性：测量范围为200-500mA/cm，允许偏差≤5%

2.离子能量分布：能量范围0.1-5keV，半高宽(FWHM)≤0.8eV

3.气体离化效率：氩气/氧气离化率≥85%，残余气体占比＜3%

4.等离子体稳定性：连续工作24小时功率波动＜1.5%，温度漂移＜2℃

5.引出系统寿命：栅极耐压≥10kV，累计工作时间≥5000小时无衰减

检测范围

1.半导体晶圆掺杂工艺用离子源

2.金属薄膜沉积系统配套等离子体源

3.光学镀膜设备高能离子清洗模块

4.纳米结构刻蚀系统反应离子源

5.聚合物表面改性用低温等离子体发生器

检测方法

ASTME1508-98:等离子体离子源束流稳定性测试规范

ISO21438-3:2021电离辐射源性能表征方法

GB/T20176-2020离子注入机用等离子体源测试方法

GB51608-2020真空镀膜设备等离子体发生装置技术要求

IEC62303:2018等离子体系统电磁兼容性测试导则

检测设备

1.ThermoScientificModelXYZ-2000：四极质谱仪（质量分辨率0.01amu）

2.KeysightN6705C：高精度直流电源分析模块（测量精度0.02%）

3.AgilentU2723A：静电探针诊断系统（空间分辨率50μm）

4.KLATencorSurfscanSP5：束斑均匀性分析仪（扫描速度200mm/s）

5.PfeifferVacuumHPT200：残余气体分析仪（检测限10^-11mbar）

6.FlukeTi480PRO：红外热成像仪（温度灵敏度0.03℃）

7.Keithley2450：高压源表（最大输出电压10kV）

8.BrukerD8ADVANCE：X射线衍射仪（角度重复性0.0001）

9.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（纵向分辨率10nm）

10.HoribaLabRAMHREvolution：拉曼光谱仪（光谱分辨率0.35cm⁻）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.