检测项目
表面形貌检测：
- 表面粗糙度：Ra值（≤0.1nm，参照ISO25178-2）、Sa值（≤0.5nm）
- 平整度：PV值（≤0.5μm）、RMS值（≤0.1μm）
- 轮廓高度偏差：步高误差±5nm（ISO10110-8）
光学性能检测：- 波前误差：RMS值（≤λ/50）、PV值（≤λ/10）
- Strehl比：≥0.95
- 透射波前畸变：畸变量≤0.05λ（ISO14999-4）
位移测量：- 线性位移精度：±1nm（参照ISO230-2）
- 角度测量误差：≤0.1弧秒
- 振动振幅分辨率：0.01nm（频率范围0-20kHz）
薄膜厚度检测：- 厚度均匀性：偏差≤1%（参照ASTMF1048）
- 折射率测量：精度±0.001
- 膜层应力：残余应力≤100MPa（ISO9022-11）
振动分析：- 振幅测量：范围0.1nm-10μm
- 频率分辨率：1Hz
- 模态分析：相位偏移误差≤0.1度（ISO5348）
温度分布检测：- 热变形量：线性膨胀系数偏差±0.5×10⁻⁶/°C
- 温度梯度分辨率：0.01°C/mm
- 热稳定性误差：≤10nm/°C（GB/T13317）
空气折射率补偿：- 折射率变化：补偿精度±0.0001
- 环境参数监测：温度±0.1°C、湿度±1%RH（ISO14999-5）
机械部件校准：- 导轨平行度：误差≤1μm/m
- 圆跳动测量：精度±0.5μm
- 轴承间隙：范围0-50μm（GB/T307.1）
生物样本表征：- 细胞厚度：分辨率10nm
- 组织形变：应变测量精度±0.1%
- 折射率分布：偏差±0.002（ISO15752）
纳米结构分析：- 光栅周期：精度±0.1nm
- 表面缺陷检测：缺陷尺寸≥10nm
- 三维拓扑重建：垂直分辨率0.01nm（ISO25178-6）
检测范围
1.光学玻璃透镜：检测表面划痕、气泡缺陷及面形偏差，重点测试波前像差和透射均匀性
2.半导体硅晶圆：测量平整度、厚度均匀性及纳米级表面粗糙度，侧重缺陷识别和应力分布
3.精密机械轴承：分析跳动误差、导轨平行度及热变形，确保运动精度和稳定性
4.MEMS微机电系统：检测微小位移、振动模态及结构形变，重点在动态响应和可靠性验证
5.激光谐振腔镜片：测试波前误差、反射率均匀性及热稳定性，核心在光学性能退化检测
6.天文望远镜反射镜：测量表面平整度、PV值及环境变形，侧重大口径光学元件校准
7.薄膜涂层基板：分析厚度均匀性、折射率偏差及膜层应力，重点在涂层工艺质量控制
8.微流体芯片：检测通道尺寸精度、表面粗糙度及流体诱导形变，核心在生物兼容性验证
9.3D打印金属部件：测试层厚精度、表面轮廓及残余应力，侧重制造缺陷和变形分析
10.生物组织切片：测量厚度变化、折射率分布及细胞结构形变，重点在病理样本无损检测
检测方法
国际标准：
- ISO10110-5光学元件表面缺陷公差（公差等级N≤3）
- ISO25178-2表面纹理分析（面积滤波参数S-F=0.08mm）
- ASTME122表面粗糙度测量（采样长度0.8mm）
- ISO14999-4光学干涉仪波前检测（波长632.8nm）
- ISO230-2位移测量精度测试（定位重复性±0.5μm）
国家标准：- GB/T13317光学元件热变形测试（温度范围-40°C至80°C）
- GB/T307.1滚动轴承公差（径向游隙C0级）
- GB/T111机械振动测量（频率带宽10Hz-5kHz）
- GB/T157光学薄膜厚度检测（膜厚范围0.1-10μm）
- GB/T1800几何量测量规范（平行度公差IT6级）
方法差异说明：ISO标准侧重全局条纹分析，而GB标准采用分步相位偏移法；ISO位移测试基于激光波长基准，GB则结合干涉与编码器技术；表面粗糙度ISO使用面积参数，GB沿用轮廓参数Ra。
检测设备
1.激光干涉仪：ZygoVerifire（精度±0.1nm，波长632.8nm）
2.白光干涉仪：BrukerContourGT（垂直分辨率0.01nm，扫描范围100μm）
3.Fizeau干涉仪：ZygoGPI（波前精度λ/100，口径300mm）
4.麦克尔逊干涉仪：CustomM-200（位移范围0-100mm，分辨率1nm）
5.Twyman-Green干涉仪：OptoTechTG-100（用于透镜测试，口径150mm）
6.光纤干涉仪：LunaODiSI（测量长度2km，应变分辨率1με）
7.数字全息干涉仪：HoloEyeHD-800（振动分析帧率1000fps）
8.相位偏移干涉仪：VeecoNT9100（相位精度0.01度，用于表面测量）
9.激光Doppler振动仪：PolytecMSA-650（频率范围0-25MHz，振幅分辨率0.1pm）
10.共聚焦干涉显微镜：SensofarS-neox（横向分辨率0.2μm，用于生物样本）
11.纳米干涉仪：ATOSCore（精度±0.5nm，扫描速度10mm/s）
12.空气折射率干涉仪：Agilent5530（补偿精度±0.0001，温度控制±0.01°C）
13.热变形测量干涉仪：KeyenceLI-100（热范围-50°C至150°C，变形分辨率5nm）
14.角度测量干涉仪：RenishawXL-80（角度精度±0.1弧秒，范围±30度）
15.多波长干涉仪：WykoNT8000（波长范围400-1100nm，用于薄膜分析）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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研究院地址
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