检测项目
面形精度检测：
- 波前误差：RMS值（≤λ/20@632.8nm, ISO 10110-5）、PV值（≤λ/4）
- 曲率半径偏差：ΔR/R（±0.1%，ISO 10110-4）
- 像散与彗差：Zernike系数分析（ASTM F2082）
表面质量检测： - 划痕-麻点等级：遵循MIL-PRF-13830B（80-50标准）
- 表面粗糙度：Ra值（≤0.5nm, ISO 10110-8）
- 亚表面损伤：激光散射法（ISO 14997）
材料特性检测： - 热膨胀系数：CTE（±0.05×10⁻⁶/K, GB/T 4339）
- 均匀性：折射率偏差Δn（≤±5×10⁻⁶, ISO 12123）
- 应力双折射：光程差OPD（≤5nm/cm, ISO 17221）
光学薄膜性能： - 光谱反射率：R≥99.8%@1064nm（GB/T 26332.5）
- 激光损伤阈值：LIDT（≥15J/cm²@355nm, ISO 21254-1）
- 膜层附着力：胶带剥离法（ASTM D3359）
机械性能： - 表面硬度：努氏硬度HK0.02（≥600）
- 抗弯强度：三点弯曲法（≥100MPa, GB/T 6569）
- 耐磨性：Taber磨耗测试（CS-10F轮, ≤0.5mg/cycle）
环境适应性： - 湿热试验：40℃/95%RH（240h，反射率衰减≤0.2%）
- 温度循环：-50℃~+85℃（20循环，面形变化≤λ/10）
- 盐雾腐蚀：依据GB/T 10125（48h无点蚀）
光谱特性： - 偏振灵敏度：S偏振与P偏振反射率差（≤0.3%@45°入射）
- 透射波前畸变：适用于分光镜（PV≤λ/2@633nm）
热稳定性： - 热变形温度：升温速率2℃/min（≥300℃）
- 热导率：激光闪射法（≥1.5W/m·K, ASTM E1461）
尺寸公差： - 中心厚度偏差：≤±0.05mm（GB/T 1185）
- 有效孔径：≥标称值95%
激光性能： - 热透镜效应：焦距变化量（≤0.1‰/kW）
- 吸收损耗：光热法（≤10ppm@1064nm）
检测范围
1. 天文望远镜主镜： 直径400mm以上玻璃陶瓷基材，重点检测低膨胀系数及重力变形补偿能力
2. 高功率激光反射镜： 铜/钼金属基底，核心验证水冷状态下的热畸变与LIDT值
3. 红外光学反射镜： 硅/锗材料，侧重3-12μm波段反射率及抗热冲击性能
4. 空间用轻量化反射镜： 碳化硅蜂窝结构，检测面形稳定性（微重力环境）及抗辐照性能
5. 投影光刻机反射镜： 超光滑硅基镜，要求0.1nm级粗糙度及EUV波段反射率均匀性
6. 汽车LED反光镜： PMMA塑胶基材，聚焦耐候性及配光性能（GB 11564）
7. 离轴抛物面镜： 检测离轴角精度（±30″）及非对称像差校正
8. 金属冷光镜： 铝/银镀膜，验证可见光反射与红外透射分离特性
9. 柔性聚合物反射镜： 检测动态曲率变化下的面形保持能力
10. 光栅分光反射镜： 刻线密度偏差（≤±0.1线/mm）及衍射效率均匀性
检测方法
国际标准：
- ISO 10110-5:2015 光学元件面形公差规范
- ISO 14997:2011 光学表面缺陷散射测试
- ASTM F529-16 激光干涉仪面形测量规程
- MIL-PRF-13830B 光学元件表面缺陷分级
国家标准： - GB/T 26332.5-2022 光学薄膜光谱特性测试
- GB/T 1185-2006 光学零件面形偏差检测
- GB/T 1800.3-2020 产品几何技术规范(GPS)
- GJB 2485-95 军用光学零件表面疵病标准
（方法差异说明：ISO 10110-5使用RMS值评价面形，而国标GB/T 1185采用光圈数N与局部偏差ΔN；MIL-PRF-13830B的划痕分级依据视觉宽度，GB 11564则规定反射镜的配光强度分布）
检测设备
1. 激光干涉仪： ZYGO Verifire XP/D（波长632.8nm，精度λ/1000 PV）
2. 白光轮廓仪： Bruker ContourGT-X8（垂直分辨率0.1nm，扫描范围10×10mm）
3. 分光光度计： PerkinElmer Lambda 1050+（波段175-3300nm，分辨率0.05nm）
4. 激光损伤测试系统： LOTIS TII LS-2137（能量密度0-50J/cm²，脉宽3-15ns）
5. 原子力显微镜： Bruker Dimension Icon（扫描精度0.1nm，模式PeakForce Tapping）
6. 热真空试验箱： ESPEC TSA-71S（温度范围-70~+180℃，真空度10⁻⁶Pa）
7. 激光波前分析仪： 4D Technology PhaseCam 5010（动态范围>50λ，帧频1250fps）
8. 精密测角仪： TRIOPTICS OptiAngle（角度分辨率0.001°，自动准直）
9. 微力硬度计： Fischerscope HM2000（载荷范围1-1000mN，符合ISO 14577）
10. 热机械分析仪： Netzsch TMA 402F（膨胀系数测量精度±0.05×10⁻⁶/K）
11. 三维坐标测量机： Zeiss ACCURA 7/12/7（空间精度0.6+L/600μm）
12. 散射测量系统： Schmitt CARS（动态范围10⁻³~10⁻¹² sr⁻¹）
13. 光谱椭偏仪： J.A. Woollam M2000UI（膜厚测量精度±0.1nm）
14. 偏振分析仪： Thorlabs PAX1000（消光比测量精度±0.01°）
15. 微位移传感器： Keyence LK-G5000（分辨率0.01μm，采样速率392kHz）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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