真空漏率检测

检测项目

1. 粗真空漏率检测：大漏率快速筛查，静态压升法检测，气泡法目视检漏。

2. 高真空漏率精测：氦质谱法漏率定量检测，累积法微小漏率检测。

3. 密封器件漏率检测：示踪气体封存法检测，背压法粗、细漏检测。

4. 真空腔体整体密封性检测：总漏率测量，虚漏识别与排除。

5. 焊缝与连接处密封检测：焊缝氦罩法检漏，法兰接头喷吹法检漏。

6. 动态真空系统漏率检测：在抽气状态下实时漏率监测，漏点定位。

7. 材料本体渗透率检测：材料对特定气体（如氦气）的渗透系数测量。

8. 真空阀门密封性能检测：阀门座密封面漏率测试，启闭寿命后的密封性验证。

9. 真空管路系统漏率检测：分段隔离检漏，复杂管路网络漏点排查。

10. 封接部件漏率检测：陶瓷-金属封接、玻璃-金属封接处的密封完整性测试。

11. 真空包装件密封性检测：包装袋、罐头的微小泄漏检测。

12. 真空绝热部件漏率检测：如真空绝热板、杜瓦瓶的真空维持性能测试。

检测范围

半导体工艺腔室、航天器推进剂贮箱、高能物理加速器真空管、真空镀膜设备、低温超导器件、真空断路器、医药冻干机腔体、真空绝热板、氦质谱检漏仪自身校准件、真空阀门与波纹管、卫星有效载荷、真空输送系统、封装微机电系统、科研用超高真空系统、真空包装食品袋、汽车灯真空灌装部件、平板显示制造设备、真空感应熔炼炉、热管、真空热试验设备

检测设备

1. 氦质谱检漏仪：用于精确定量检测微小漏率的核心设备，利用氦气作为示踪气体，具备高灵敏度与宽检测范围。

2. 真空计组：包含热偶计、电离计等，用于测量系统真空度，辅助判断漏率大小与系统状态。

3. 检漏盒与真空室：为被检工件提供局部或整体抽真空与充注示踪气体的密封环境。

4. 便携式吸枪探头：与氦质谱检漏仪连接，用于对可疑漏点进行扫描和定位。

5. 标准漏孔：用于校准检漏仪灵敏度，提供已知且稳定的微小气体流量基准。

6. 真空抽气机组：包含机械泵、分子泵等，为检测系统提供所需的真空环境。

7. 背压检漏设备：用于密封元器件的粗检与细检，包含高压氦气加压舱和真空检测舱。

8. 气泡检漏水箱：用于对充压工件进行粗检，通过观察水中气泡来定位较大漏孔。

9. 质谱分析室：氦质谱检漏仪的核心部件，用于分离和检测氦离子。

10. 数据采集与处理系统：自动记录真空度变化、漏率信号，并进行数据分析与报告生成。

相关检测的发展前景与展望

随着高端制造向更精密、更集成化发展，真空漏率检测技术正朝着更高灵敏度、更智能化的方向演进。未来，在线实时监测系统将更广泛地集成到生产线中，实现质量控制的主动预防。检测设备的便携性与自动化程度将大幅提升，结合人工智能算法进行漏点快速定位与漏率智能诊断。针对新型复杂材料与结构，如增材制造部件、柔性封装体，需要发展与之适配的新型无损检测方法。同时，检测过程的标准化与数据可比性将进一步加强，推动建立更完善的行业质量评价体系，为航空航天、半导体、新能源等关键领域提供更坚实的可靠性保障。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.