半导体车间静电防护试验

检测项目

1.工作表面电阻测试：测量工作台、地板和装备表面的电阻值，测试静电消散能力与接地效果，确保表面电阻在规定范围内。

2.人员接地电阻测试：检测工作人员通过腕带、鞋具等接地设备的电阻，验证静电释放路径的可靠性与安全性。

3.静电电位测量：使用静电计监测车间内关键区域的静电电位水平，识别潜在静电积聚风险。

4.空气离子化性能测试：测试离子发生器中和静电电荷的效率，包括平衡电压和衰减时间，确保空气离子化系统稳定运行。

5.静电屏蔽效能测试：测试包装材料和容器对静电场的屏蔽能力，防止外部静电干扰敏感器件。

6.静电放电模拟试验：通过放电枪模拟人体或设备静电放电事件，检测防护措施的响应与器件抗扰度。

7.接地系统连续性检测：测量接地导体的电阻和连接点连续性，确保整个静电防护接地网络可靠有效。

8.防静电材料性能检测：测试防静电服装、工具和耗材的表面电阻和电荷衰减特性，验证其在实际应用中的防护效果。

9.环境湿度与温度影响分析：监测车间温湿度参数，测试其对静电产生和消散的影响，优化环境控制策略。

10.静电敏感器件测试：对半导体器件进行静电放电敏感度分级，确定其耐受阈值并制定相应防护措施。

检测范围

1.洁净室工作区：包括晶圆处理、组装和测试区域，需重点检测表面电阻和静电电位，防止微粒吸附和器件损伤。

2.存储与运输区域：涵盖器件仓库和物流通道，测试静电屏蔽包装和环境控制措施，确保存储安全。

3.人员操作区域：涉及工作站和维修区，检测人员接地设备和防静电服装的性能，减少人体静电风险。

4.设备与工具表面：包括机械臂、夹具和测试仪器，验证其表面电阻和接地连续性，防止静电通过设备传导。

5.空气处理系统：测试离子发生器和其他空气净化设备的静电中和能力，优化车间气流控制。

6.防静电地板与墙面：检测地板和墙面的电阻值及均匀性，确保大面积静电防护覆盖。

7.包装与容器材料：涉及防静电袋、盒和托盘，测试其屏蔽效能和表面电阻，保障运输过程中的静电安全。

8.电子组件装配线：包括电路板组装和焊接区域，测试静电电位和放电风险，防止组装过程中的静电损害。

9.测试与测量设备区：涵盖精密仪器和校准设备，检测接地系统和表面电阻，确保测量准确性。

10.多层级防护系统：如整体车间静电防护网络，需综合检测各子系统性能，确保协同作用与整体可靠性。

检测标准

国际标准：

IEC 61340-5-1、IEC 61340-5-2、ANSI/ESD S20.20、ISO 14644-1

国家标准：

GB/T 2423.22、GB/T 17626.2、GB/T 18844、GB/T 2423.17

检测设备

1.表面电阻测试仪：用于测量工作表面和材料的电阻值，测试静电消散性能与合规性。

2.人体电阻测试仪：检测人员接地设备的电阻，验证静电释放路径的安全性与有效性。

3.静电电位计：监测车间内静电电位分布，识别高风险区域并指导防护措施优化。

4.离子发生器测试仪：测试空气离子化设备的平衡电压和衰减时间，确保静电中和效率。

5.静电放电模拟器：通过可控放电模拟静电事件，测试防护系统和器件的抗扰度。

6.接地电阻测试仪：测量接地系统的电阻和连续性，确保静电防护网络的可靠性。

7.静电屏蔽测试装置：用于测试包装材料和容器的屏蔽效能，防止外部静电干扰。

8.环境温湿度记录仪：监测车间温湿度参数，分析其对静电产生和防护效果的影响。

9.电荷衰减测试仪：测量防静电材料的电荷衰减速率，验证其在实际应用中的性能稳定性。

10.表面轮廓仪：检测工作表面粗糙度与形貌，关联参数与静电积聚易感性。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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