电子级笑气纯度测试

检测项目

纯度检测：

• 总纯度：≥99.999%（参照ASTME260）
• 主要成分浓度：N2O含量≥99.995%

• 氧气含量：≤5ppm（体积分数）
• 氮气含量：≤10ppm
• 二氧化碳含量：≤2ppm

• 露点温度：≤-76°C（对应水分含量≤1ppm）
• 水分浓度：≤0.5ppm（重量法）

• 颗粒数量：≤0.1particles/mL（对于≥0.1μm颗粒）
• 颗粒大小分布：符合SEMI标准

• 一氧化碳含量：≤0.1ppm
• 重金属杂质：铅、汞等≤0.01ppm

• 长期储存稳定性：纯度变化≤0.001%/年
• 压力稳定性：在工作压力下无泄漏

• 与材料兼容性：无腐蚀、无反应
• 气体混合兼容性：与其他电子气体无不良反应

• 温度影响：在-40°C至60°C下性能稳定
• 压力影响：在指定压力范围内安全

• 振动测试：符合运输振动标准
• 冲击测试：能承受一定冲击

• 排放测试：对环境无污染
• 回收处理测试：可安全回收

检测范围

1.电子级笑气气瓶：用于存储和运输高纯度笑气，检测重点为瓶内气体纯度、杂质含量和压力完整性。

2.笑气纯化器输出：纯化后的笑气，检测重点为去除杂质的效果和最终纯度。

3.笑气输送管道：气体输送系统，检测重点为管道内气体污染风险和泄漏。

4.笑气存储罐：大型存储设备，检测重点为长期储存稳定性和安全性。

5.笑气使用点：半导体制造设备入口，检测重点为实时纯度监控。

6.笑气回收系统：气体回收装置，检测重点为回收气体纯度和杂质水平。

7.笑气填充设备：用于填充气瓶，检测重点为填充过程污染控制。

8.笑气分析仪校准气体：用于校准仪器，检测重点为校准气体的准确性和稳定性。

9.笑气环境监测样品：环境中的笑气样本，检测重点为环境污染水平。

10.笑气相关材料兼容性测试样品：与笑气接触的材料，检测重点为材料腐蚀和气体纯度影响。

检测方法

国际标准：

• ASTME260-21JianCePracticeforGasChromatography
• ISO6141:2015Gasanalysis-Requirementsforcertificatesforcalibrationgasmixtures
• SEMIC3.45-0307GuideforNitrousOxideGasHandlingSystems

• GB/T14600-2009电子工业用气体笑气
• GB/T38523-2020工业气体中微量水分的测定
• GB/T38524-2020工业气体中微量氧的测定

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890GC（检测限达ppb级，精度±0.5%）

2.质谱仪：ThermoScientificISQ7000（质量范围1-1050amu，分辨率0.1amu）

3.水分分析仪：MitsubishiCA-100（测量范围0.1-1000ppm，精度±0.1ppm）

4.氧气分析仪：Servomex4100（范围0-1000ppm，精度±0.5ppm）

5.颗粒计数器：ParticleMeasuringSystemsCI-1000（计数效率99%for0.1μmparticles）

6.压力测试仪：DruckDPI610（压力范围0-1000psi，精度±0.05%FS）

7.温度控制器：WatlowF4T（控制精度±0.1°C）

8.流量计：BrooksSLA5850（流量范围0.01-100L/min，精度±0.5%）

9.纯度分析仪：VICIValcoGPD（纯度测量精度±0.001%）

10.气体采样系统：Entech7100A（自动采样，无污染设计）

11.泄漏检测仪：InficonWhisper（灵敏度0.01g/year）

12.环境模拟箱：WeissTechnikWK3-720/40（温度范围-70°Cto180°C）

13.振动测试台：LDSV455（频率范围5-3000Hz）

14.冲击测试机：LansmontSAVER925D（峰值加速度100g）

15.回收气体处理系统：Custom-built（处理能力100L/h）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.