检测项目
真空性能检测：
- 极限真空度：启动时间≤6min，基础真空≤5×10⁻⁷Pa（ISO 21360-1）
- 抽速特性：N₂抽速≥500L/s（入口法兰DN160），He抽速衰减≤15%
- 压缩比测试：N₂压缩比≥1×10⁹，H₂压缩比≥1×10³
动力学性能检测： - 转子动平衡：残余不平衡量≤0.5g·mm/kg（ISO 1940 G2.5级）
- 振动频谱分析：轴向振幅≤2μm（20-1000Hz），振动速度有效值≤4.5mm/s
- 轴承温升监测：满负荷温升ΔT≤65K（红外热像仪监测）
材料理化分析： - 耐腐蚀性：盐雾试验500h（5%NaCl），腐蚀速率≤0.01mm/a（ASTM B117）
- 表面硬度：转子表面HV≥800（载荷200g），基体HRC≥40
- 成分检测：Al合金中Mg含量0.5-1.2wt%，O含量≤30ppm（GB/T 20975.25）
密封性能验证： - 氦检漏率：静态漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s（ISO 15848 CO级）
- 密封圈耐油性：氟橡胶体积膨胀率≤10%（ASTM D471）
电气安全检测： - 绝缘电阻：绕组对地≥100MΩ（500VDC测试）
- 耐电压测试：1500VAC/60s无击穿（IEC 60204-1）
环境适应性： - 温度循环：-40℃~+80℃（10次循环），真空度衰减≤20%
- 湿热试验：40℃/93%RH（96h），绝缘电阻≥10MΩ
寿命与可靠性： - 加速寿命试验：120%额定转速连续运行≥3000h（威布尔分析MTBF≥60,000h）
- 启停循环：≥50,000次启停，轴向位移≤0.05mm
噪声检测： - 声功率级：1米距离≤65dB(A)（ISO 3744）
清洁度控制： - 颗粒污染：粒径≥5μm颗粒数≤100/m³（ISO 14644-1 Class 5）
- 烃类残留：总碳氢化合物≤1×10⁻⁶g/m²（GC-MS分析）
电磁兼容： - 传导骚扰：电源端子≤79dBμV（150kHz-30MHz，CISPR 11）
- 静电放电：接触放电±8kV（IEC 61000-4-2）
检测范围
1. 磁悬浮涡轮分子泵： 检测磁轴承间隙控制精度（≤0.1mm）、断电保护系统响应时间（≤20ms）及悬浮能耗（≤150W）
2. 复合分子泵： 侧重分子级与牵引级的抽速匹配性验证，重点检测过渡区真空度波动（≤±10%）
3. 耐腐蚀型分子泵： 针对半导体蚀刻工艺，强化Al₂O₃涂层结合力（≥50MPa）及HF蒸气耐受性（50ppm/200h）
4. 高压缩比分子泵： 特殊验证H₂、He等轻气体压缩性能，要求H₂压缩比≥1×10⁴
5. 小型化分子泵： 检测微型转子动平衡（残余量≤0.05g·mm）及紧凑结构散热性能（温升≤45K）
6. 超高真空分子泵： 严控材料放气率（≤1×10⁻¹¹Pa·m³/s·cm²）及内部清洁度（NAS 1638 Class 6）
7. 防爆型分子泵： 验证外壳防护（IP54）、表面温度（≤135℃）及电路本质安全（IEC 60079-11）
8. 分子泵转子组件： 独立检测转子疲劳强度（10⁹次循环载荷≥300MPa）及动平衡精度
9. 分子泵专用轴承： 陶瓷球轴承表面粗糙度Ra≤0.05μm，润滑脂蒸发损失（120℃/24h）≤3%
10. 分子泵冷却系统： 水冷结构流量≥1L/min时，热交换效率≥85%
检测方法
国际标准：
- ISO 21360-1:2019 真空技术-分子泵性能测量方法（规定抽速测试的喷嘴法）
- ASTM E595-07(2019) 材料总质量损失与挥发物测试（放气率检测）
- IEC 60068-2-64:2019 振动宽带随机检测方法（比国标增加多轴激励要求）
国家标准： - GB/T 3163-2022 真空技术术语（统一参数定义）
- GB/T 32280-2022 真空泵噪声测量（限定1m自由声场条件）
- JB/T 12557-2016 涡轮分子泵（规定国产泵性能允差±5%）
（国标GB/T 32280与国际标准ISO 3744在背景噪声修正算法存在差异；ISO 21360-1比JB/T 12557增加气体反流率测试项目）
检测设备
1. 真空校准系统： 恒压法抽速测试台（测量范围10⁻¹~10³Pa，不确定度≤1.5%）
2. 四极质谱仪： 残余气体分析仪（质量数1-200amu，检测限≤5×10⁻¹⁰Pa）
3. 激光振动仪： 非接触式测振仪（频率范围0.5Hz-20kHz，分辨率0.1μm）
4. 氦质谱检漏仪： 逆扩散型检漏仪（灵敏度≤5×10⁻¹³Pa·m³/s）
5. 材料放气率测试腔： 双通道气路系统（本底压力≤5×10⁻⁷Pa，温度控制±1℃）
6. 高速数据采集系统： 128通道动态分析仪（采样率1MHz，分辨率24bit）
7. 热真空试验仓： 温控范围-70℃~+150℃（真空度≤1×10⁻⁴Pa）
8. 激光粒度分析仪： 颗粒计数器（粒径检测0.1-1000μm，符合ISO 21501）
9. 扫描电镜： 能谱联用系统（分辨率1nm，元素分析B-U）
10. 轴承寿命试验台： 多工位加速测试系统（轴向载荷0-800N可调，转速误差≤0.1%）
11. 气体分析色谱仪： 高灵敏度FID检测器（碳氢检测限≤0.1ppm）
12. 三维形貌仪： 白光干涉表面分析（垂直分辨率0.1nm）
13. 电磁兼容测试系统： 全电波暗室（30MHz-18GHz，背景噪声≤6dBμV）
14. 旋转机械故障诊断仪： 多频谱分析系统（可识别0.01mm转子偏心）
15. 高温摩擦试验机： 真空环境摩擦系数测试（真空度≤10⁻³Pa，温度800℃）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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