入射线发散度检测

检测项目

入射线发散度检测主要用于测试光源或射线束的发散特性，其核心检测项目包括：

1. 发散角测量

横向发散角与纵向发散角分析

全发散角（FWHM）计算

2. 光束质量测试

M²因子（光束传播因子）测定

光斑均匀性检测

3. 能量分布检测

能量密度分布图生成

边缘能量衰减分析

检测范围

入射线发散度检测广泛应用于以下领域：

1. 工业制造

激光切割与焊接设备的光束校准

光学元件（如透镜、反射镜）性能验证

2. 医疗设备

医用激光治疗仪发散度合规性检测

放射治疗设备射线束质量控制

3. 科研实验

高能物理实验中的粒子束发散度监测

光学实验室的激光光源特性研究

检测方法

入射线发散度检测主要采用以下方法：

1. 光斑分析法

利用CCD相机或光束轮廓仪采集光斑图像

通过图像处理软件计算发散角参数

2. 干涉测量法

采用迈克尔逊干涉仪或菲索干涉仪测量波前畸变

根据干涉条纹分析发散度变化

3. 远场扫描法

在光束传播路径上设置多位置探测器

通过拟合数据曲线计算发散度数值

检测仪器

入射线发散度检测需依赖高精度仪器，主要包括：

1. 光束质量分析仪

型号示例：Coherent BeamMaster系列

参数范围：波长200-2000nm，分辨率0.1mrad

2. 高分辨率CCD相机

型号示例：Ophir Spiricon SP928

关键指标：像素尺寸5.5μm，动态范围70dB

3. 自动化扫描平台

型号示例：Newport ESP系列

功能特点：位移精度±1μm，支持三维轨迹编程

4. 干涉仪系统

型号示例：Zygo Verifire™ HD

技术优势：纳米级波前测量精度，实时数据反馈

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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