检测项目
化学成分分析:检测SiO₂纯度及杂质元素(如Al、Fe、Na等)含量。
热稳定性测试:测试高温环境下的膨胀系数与抗热震性能。
光学性能检测:包括透光率、折射率及紫外吸收特性。
机械强度测试:抗压强度、抗弯强度及表面硬度。
气密性检测:验证管体在高压或真空环境下的密封性能。
耐腐蚀性测试:酸性、碱性及有机溶剂环境下的抗腐蚀能力。
检测范围
半导体制造:用于高温扩散炉管、CVD反应管等部件。
光学器件:高精度透镜、滤光片基材等。
化工设备:耐腐蚀反应容器、输送管道。
光伏行业:太阳能电池熔融载体。
实验室仪器:高温炉管、真空腔体。
定制化产品:异形熔结石英管(U型、螺旋型等)。
检测方法
X射线荧光光谱法(XRF):非破坏性分析元素组成,精度达ppm级。
热膨胀系数测试仪:测量20°C至1200°C温度区间的线性膨胀率。
紫外-可见分光光度计:检测190nm~1100nm波段透光率。
万能材料试验机:三点弯曲法测试抗弯强度(标准ASTM C1684)。
氦质谱检漏仪:灵敏度达1×10⁻¹² Pa·m³/s,确保气密性。
高温循环试验:模拟急冷急热环境(GB/T 3298-2008)。
检测仪器
XRF光谱仪:Thermo Scientific ARL QUANT'X,检测限0.01%
热膨胀仪:NETZSCH DIL 402 Expedis,温度范围-150°C~1550°C
分光光度计:PerkinElmer Lambda 950,波长精度±0.08nm
万能试验机:Instron 5967,最大载荷50kN
氦质谱检漏仪:Leybold Phoenix L300i,自动校准功能
高温马弗炉:Nabertherm LH60/14,最高温度1400°C
数据分析与标准
检测数据需符合ISO 9001质量管理体系,并参照SEMI F57(半导体级石英规范)、 JIS R3651(熔融石英管试验方法)等国际标准。异常数据需进行三次重复验证, 采用蒙特卡洛法测试测量不确定度。
常见缺陷与成因
缺陷类型 | 检测方法 | 成因分析 |
气泡 | X射线断层扫描 | 熔制温度不均或原料含气 |
条纹 | 偏光显微镜 | 冷却速率过快导致应力集中 |
晶化 | XRD衍射分析 | 长期高温使用引发相变 |
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。