熔结石英管检测

检测项目

化学成分分析：检测SiO₂纯度及杂质元素（如Al、Fe、Na等）含量。

热稳定性测试：测试高温环境下的膨胀系数与抗热震性能。

光学性能检测：包括透光率、折射率及紫外吸收特性。

机械强度测试：抗压强度、抗弯强度及表面硬度。

气密性检测：验证管体在高压或真空环境下的密封性能。

耐腐蚀性测试：酸性、碱性及有机溶剂环境下的抗腐蚀能力。

检测范围

半导体制造：用于高温扩散炉管、CVD反应管等部件。

光学器件：高精度透镜、滤光片基材等。

化工设备：耐腐蚀反应容器、输送管道。

光伏行业：太阳能电池熔融载体。

实验室仪器：高温炉管、真空腔体。

定制化产品：异形熔结石英管（U型、螺旋型等）。

检测方法

X射线荧光光谱法（XRF）：非破坏性分析元素组成，精度达ppm级。

热膨胀系数测试仪：测量20°C至1200°C温度区间的线性膨胀率。

紫外-可见分光光度计：检测190nm~1100nm波段透光率。

万能材料试验机：三点弯曲法测试抗弯强度（标准ASTM C1684）。

氦质谱检漏仪：灵敏度达1×10⁻¹² Pa·m³/s，确保气密性。

高温循环试验：模拟急冷急热环境（GB/T 3298-2008）。

检测仪器

XRF光谱仪：Thermo Scientific ARL QUANT'X，检测限0.01%

热膨胀仪：NETZSCH DIL 402 Expedis，温度范围-150°C~1550°C

分光光度计：PerkinElmer Lambda 950，波长精度±0.08nm

万能试验机：Instron 5967，最大载荷50kN

氦质谱检漏仪：Leybold Phoenix L300i，自动校准功能

高温马弗炉：Nabertherm LH60/14，最高温度1400°C

数据分析与标准

检测数据需符合ISO 9001质量管理体系，并参照SEMI F57（半导体级石英规范）、 JIS R3651（熔融石英管试验方法）等国际标准。异常数据需进行三次重复验证， 采用蒙特卡洛法测试测量不确定度。

常见缺陷与成因

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.