热偶真空计检测

检测项目

测量范围验证：10^-1 Pa至10³ Pa（对应0.001-10 Torr），误差≤±15%

线性度测试：在量程20%-80%区间内，非线性偏差＜±5% F.S.

热偶丝老化测试：通过1000小时加速寿命试验，电阻变化率≤3%

温度补偿验证：环境温度在15-35℃波动时，读数漂移＜±2%

响应时间测定：压力阶跃变化时达到90%稳定值时间＜3秒

检测范围

半导体制造设备：等离子体刻蚀机、CVD反应腔真空监控

真空镀膜系统：光学镀膜机、磁控溅射设备的真空度测量

医疗灭菌设备：环氧乙烷灭菌柜、冻干机的真空保持检测

科研实验装置：粒子加速器、质谱仪真空腔体监测

航空航天组件：卫星推进系统、空间环境模拟舱真空控制

检测方法

ASTM E2971-22：采用标准电离规比对法建立基准压力值

ISO 3567:2021：通过动态流量法进行全量程线性度校准

IEC 60312-4：应用阶跃压力法测定动态响应特性

GB/T 3163-2022：使用恒温箱进行温度影响系数标定

JJG 692-2010：执行国家计量检定规程进行周期检定

检测设备

INFICON BPG400：基准真空校准系统，不确定度0.5%

MKS SRG-2：可溯源自补偿型参考传感器，量程10^-5-1000 Torr

Agilent 34461A：6½位数字万用表，用于热电势精确测量

Thermo Scientific HPT-1000：高精度恒温试验箱，温控±0.1℃

Leybold DIVAC 2.0：动态真空校准装置，支持阶跃压力生成

技术优势

通过CNAS认可（注册号详情请咨询工程师）和DILAC国防实验室认证

配备二级标准真空装置，测量不确定度优于1.2%（k=2）

检测团队持有Nadcap认证的真空计量高技术人员资质

实验室满足ISO/IEC 17025:2017体系要求

具备-196℃液氮冷阱系统，可消除油蒸汽干扰误差

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.