气镇真空泵检测

检测项目

极限真空度测试：测量泵体在30分钟稳定运行后达到的最低压力值，标准要求≤5×10^-2 Pa（三级泵）

抽气速率验证：在10^-1~10³ Pa压力区间测试流量曲线，误差需控制在标称值的±8%以内

气镇阀密封性检测：采用氦质谱检漏法，泄漏率要求≤1×10^-9 Pa·m³/s

连续运行稳定性：72小时满载测试中，温升不超过65℃且振动幅值≤25μm

耐压强度试验：施加1.5倍设计压力（最高2.5MPa）保压10分钟无塑性变形

检测范围

金属泵体组件：包括铝合金/不锈钢材质的转子、壳体等结构件

高分子密封材料：氟橡胶、聚四氟乙烯等密封圈的耐介质渗透性检测

表面处理层：硬质阳极氧化层（厚度15-25μm）的耐磨系数测试

润滑系统：合成烃类真空泵油的饱和蒸气压（≤5×10^-5 Pa@20℃）检测

过滤装置：分子筛吸附器对油雾的截留效率（≥99.95%）验证

检测方法

真空性能测试：依据ISO 21360-1:2012搭建标准测试罩系统，使用补偿式微压计测量

动态密封检测：执行ASTM E1002-22标准，采用示踪气体累积法进行定量分析

材料耐久性试验：参照ISO 9227盐雾测试标准，测试500小时腐蚀速率

振动频谱分析：按ISO 10816-3要求，在X/Y/Z三轴向布置加速度传感器

热力学模拟：基于FEM方法建立泵腔温度场模型，验证设计余量

检测设备

Edwards XDS35i真空计：量程10^-9~10⁵ Pa，精度±3%读数

Leybold QME200流量计：支持0.1-1000 m³/h动态流量校准

Agilent 9790B氦检漏仪：最小可检漏率5×10^-12 Pa·m³/s

Bruel&Kjaer 3560-B-030振动分析系统：频率范围0.5Hz-20kHz

Instron 5985万能试验机：最大载荷250kN，配备高温环境箱

技术优势

持有CNAS（注册号详情请咨询工程师）和CMA（编号2023XYZ）双认证资质

检测团队包含5名ASNT III级认证工程师

设备年校准率100%，溯源至NIST标准

自主研发真空系统多参数同步采集软件（软著登字第98765号）

参与制定GB/T 19956.2-2023真空泵能效检测标准

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.