可控保护气氛检测

检测项目

氧含量检测：范围0.1-100 ppm，分辨率0.01 ppm

露点检测：范围-80℃至+20℃，精度±0.5℃

气体流量检测：范围0.1-100 L/min，误差≤±1% FS

气体纯度检测：H2、N2、Ar等纯度≥99.9995%

气体混合均匀度检测：偏差≤±0.2%

检测范围

金属合金：钛合金、不锈钢等热处理过程保护气氛

半导体材料：硅片退火、外延生长的惰性气体环境

陶瓷基复合材料：烧结工艺中的还原性气氛控制

电子封装材料：焊接过程氮气或氢气保护环境

高温涂层材料：等离子喷涂氩气-氢气混合气氛

检测方法

氧含量检测：ASTM E1852（电化学传感器法）、GB/T 223.85（气相色谱法）

露点检测：ISO 8573-3（冷镜式露点仪法）、GB/T 5832.2（电容式传感器法）

气体流量检测：GB/T 8980（热式质量流量计法）、ISO 10780（压差法）

气体纯度检测：ASTM E260（气相色谱-质谱联用法）、GB/T 28726（红外光谱法）

混合均匀度检测：GB/T 5274（激光散射法）、ISO 6143（多组分分析仪法）

检测设备

氧分析仪：Siemens Maxum II气相色谱仪，配备TCD检测器，检测限0.01 ppm

露点仪：Michell S8000冷镜式露点仪，测量范围-80℃至+20℃，符合ISO 8573标准

质量流量计：Brooks SLA5850系列，量程0.05-100 SLPM，重复性±0.15% RD

气体纯度分析系统：Agilent 490 Micro GC，支持H2、O2、N2等多组分同步检测

气氛均匀度监测仪：Thermo Scientific Prima PRO质谱仪，响应时间＜1秒，精度±0.1%

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.