检测项目
元素定性分析:
- 元素鉴定:检出限≤0.1wt%(参照ISO 15632)
- 谱线识别:能量分辨率≤10eV
- 特征X射线匹配:误差范围±0.5%
定量成分分析:- 元素含量测定:精度±2%(参照ASTM E1508)
- 痕量元素检测:检出限≤50ppm
元素分布表征:- 面分布图谱:空间分辨率≤0.5μm
- 线扫描分析:步长精度±0.1μm
相结构分析:- 相成分鉴定:误差≤3%
- 相界面元素偏析:偏析系数≥1.5
晶界与缺陷检测:- 晶界元素富集:检出限≤0.5wt%
- 微孔洞分析:孔径测量精度±0.2μm
薄膜厚度测量:- 涂层厚度:精度±10nm
- 界面扩散层:厚度范围0.1-10μm
同位素分析:- 同位素比值:精度±0.1%
- 同位素分布:空间分辨率≤1μm
表面污染检测:- 表面元素残留:检出限≤100ppm
- 污染物分布:覆盖率测量精度±2%
应力腐蚀分析:- 腐蚀产物元素:检出限≤0.2wt%
- 应力区元素变化:变化率测量误差±5%
热稳定性测试:- 高温元素扩散:扩散系数精度±3%
- 相变元素迁移:迁移速率测量误差±2%
检测范围
1. 金属合金材料: 包括铝合金、钛合金等,重点检测元素偏析和相结构均匀性
2. 半导体材料: 硅基、砷化镓等,侧重掺杂元素分布和界面缺陷分析
3. 陶瓷材料: 氧化铝、碳化硅等,聚焦晶界元素偏析和微孔洞检测
4. 矿物岩石: 石英、长石等,重点分析主微量元素含量和共生相分布
5. 生物样品: 骨骼、牙齿等,侧重钙磷元素分布和矿化度测量
6. 薄膜涂层: CVD、PVD涂层等,检测厚度均匀性和界面扩散层
7. 复合材料: 碳纤维增强塑料等,聚焦界面元素结合和缺陷分布
8. 电子元件: 芯片、焊点等,侧重焊料元素扩散和污染残留
9. 环境颗粒物: PM2.5颗粒等,重点检测重金属元素分布和来源分析
10. 考古文物: 青铜器、陶瓷器等,聚焦腐蚀产物元素和原始成分复原
检测方法
国际标准:
- ISO 15632:2020 微束分析-能谱仪性能参数
- ASTM E1508-20 电子探针定量分析程序
- ISO 22309:2011 微束分析-元素面分布方法
国家标准:- GB/T 13301-2022 电子探针微区分析方法通则
- GB/T 17359-2023 微束分析-元素定量分析规范
- GB/T 19500-2019 X射线能谱分析方法
国际标准侧重通用性能参数(如ISO检出限定义),国家标准强调样品制备细节(如GB要求真空度≥10⁻⁶Pa),ISO与GB在定量校准程序上存在偏差(ISO使用纯元素标样,GB允许复合标样)
检测设备
1. 电子探针微区分析仪: JEOL JXA-8530F(空间分辨率≤0.1μm,元素范围B-U)
2. 场发射电子探针: Shimadzu EPMA-8050G(束流稳定性≤0.1%,检测限≤50ppm)
3. 扫描电镜-能谱联用系统: Hitachi SU-8010(搭配EDS,能量分辨率≤125eV)
4. 波谱分析仪: Bruker QUANTAX WDS(波长分辨率≤5μm,精度±0.5%)
5. 高分辨率透射电镜: FEI Talos F200X(放大倍数1Mx,点分辨率≤0.12nm)
6. X射线荧光附件: Rigaku ZSX Primus IV(元素范围Na-U,检出限≤10ppm)
7. 阴极发光系统: Gatan MonoCL4(光谱范围200-850nm,分辨率≤2nm)
8. 电子背散射衍射仪: Oxford Instruments Symmetry(角度分辨率≤0.1°,扫描速度≥100点/秒)
9. 离子减薄仪: Leica EM RES102(减薄速率0.1-5μm/h,精度±0.05μm)
10. 真空镀膜机: Quorum Q150R ES(镀膜厚度10-200nm,均匀性±5%)
11. 冷台样品台: Gatan Alto 2500(温度范围-180°C至200°C,稳定性±0.1°C)
12. 高温样品台: Kammrath&Weiss HS1000(温度范围RT至1000°C,升温速率10°C/min)
13. 激光共聚焦显微镜: Zeiss LSM 980(空间分辨率≤120nm,Z轴精度±1nm)
14. 原子力显微镜: Bruker Dimension Icon(力分辨率≤10pN,扫描范围100μm)
15. 光谱椭偏仪: J.A. Woollam M-2000(厚度测量精度±0.1nm,波长范围190-1700nm)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。