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电子探针检测

原创
发布时间:2025-06-30 14:47:22
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检测项目

元素定性分析:

  • 元素鉴定:检出限≤0.1wt%(参照ISO 15632)
  • 谱线识别:能量分辨率≤10eV
  • 特征X射线匹配:误差范围±0.5%
定量成分分析:
  • 元素含量测定:精度±2%(参照ASTM E1508)
  • 痕量元素检测:检出限≤50ppm
元素分布表征:
  • 面分布图谱:空间分辨率≤0.5μm
  • 线扫描分析:步长精度±0.1μm
相结构分析:
  • 相成分鉴定:误差≤3%
  • 相界面元素偏析:偏析系数≥1.5
晶界与缺陷检测:
  • 晶界元素富集:检出限≤0.5wt%
  • 微孔洞分析:孔径测量精度±0.2μm
薄膜厚度测量:
  • 涂层厚度:精度±10nm
  • 界面扩散层:厚度范围0.1-10μm
同位素分析:
  • 同位素比值:精度±0.1%
  • 同位素分布:空间分辨率≤1μm
表面污染检测:
  • 表面元素残留:检出限≤100ppm
  • 污染物分布:覆盖率测量精度±2%
应力腐蚀分析:
  • 腐蚀产物元素:检出限≤0.2wt%
  • 应力区元素变化:变化率测量误差±5%
热稳定性测试:
  • 高温元素扩散:扩散系数精度±3%
  • 相变元素迁移:迁移速率测量误差±2%

检测范围

1. 金属合金材料: 包括铝合金、钛合金等,重点检测元素偏析和相结构均匀性

2. 半导体材料: 硅基、砷化镓等,侧重掺杂元素分布和界面缺陷分析

3. 陶瓷材料: 氧化铝、碳化硅等,聚焦晶界元素偏析和微孔洞检测

4. 矿物岩石: 石英、长石等,重点分析主微量元素含量和共生相分布

5. 生物样品: 骨骼、牙齿等,侧重钙磷元素分布和矿化度测量

6. 薄膜涂层: CVD、PVD涂层等,检测厚度均匀性和界面扩散层

7. 复合材料: 碳纤维增强塑料等,聚焦界面元素结合和缺陷分布

8. 电子元件: 芯片、焊点等,侧重焊料元素扩散和污染残留

9. 环境颗粒物: PM2.5颗粒等,重点检测重金属元素分布和来源分析

10. 考古文物: 青铜器、陶瓷器等,聚焦腐蚀产物元素和原始成分复原

检测方法

国际标准:

  • ISO 15632:2020 微束分析-能谱仪性能参数
  • ASTM E1508-20 电子探针定量分析程序
  • ISO 22309:2011 微束分析-元素面分布方法
国家标准:
  • GB/T 13301-2022 电子探针微区分析方法通则
  • GB/T 17359-2023 微束分析-元素定量分析规范
  • GB/T 19500-2019 X射线能谱分析方法
国际标准侧重通用性能参数(如ISO检出限定义),国家标准强调样品制备细节(如GB要求真空度≥10⁻⁶Pa),ISO与GB在定量校准程序上存在偏差(ISO使用纯元素标样,GB允许复合标样)

检测设备

1. 电子探针微区分析仪: JEOL JXA-8530F(空间分辨率≤0.1μm,元素范围B-U)

2. 场发射电子探针: Shimadzu EPMA-8050G(束流稳定性≤0.1%,检测限≤50ppm)

3. 扫描电镜-能谱联用系统: Hitachi SU-8010(搭配EDS,能量分辨率≤125eV)

4. 波谱分析仪: Bruker QUANTAX WDS(波长分辨率≤5μm,精度±0.5%)

5. 高分辨率透射电镜: FEI Talos F200X(放大倍数1Mx,点分辨率≤0.12nm)

6. X射线荧光附件: Rigaku ZSX Primus IV(元素范围Na-U,检出限≤10ppm)

7. 阴极发光系统: Gatan MonoCL4(光谱范围200-850nm,分辨率≤2nm)

8. 电子背散射衍射仪: Oxford Instruments Symmetry(角度分辨率≤0.1°,扫描速度≥100点/秒)

9. 离子减薄仪: Leica EM RES102(减薄速率0.1-5μm/h,精度±0.05μm)

10. 真空镀膜机: Quorum Q150R ES(镀膜厚度10-200nm,均匀性±5%)

11. 冷台样品台: Gatan Alto 2500(温度范围-180°C至200°C,稳定性±0.1°C)

12. 高温样品台: Kammrath&Weiss HS1000(温度范围RT至1000°C,升温速率10°C/min)

13. 激光共聚焦显微镜: Zeiss LSM 980(空间分辨率≤120nm,Z轴精度±1nm)

14. 原子力显微镜: Bruker Dimension Icon(力分辨率≤10pN,扫描范围100μm)

15. 光谱椭偏仪: J.A. Woollam M-2000(厚度测量精度±0.1nm,波长范围190-1700nm)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.

合作客户(部分)

1、自创办以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;

2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;

3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;

4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。

合作客户