熔融氢氧化钾腐蚀氧化镓检测

检测项目

1.基础腐蚀性能测试：腐蚀速率测定、腐蚀激活能计算、时间-深度曲线、温度依赖性分析、溶液浓度影响、腐蚀各向异性测试、腐蚀诱导重量损失、单位面积腐蚀坑数量统计、宏观腐蚀均匀性、腐蚀终止面判定。

2.表面与界面形貌分析：腐蚀坑几何形貌（三角形、六边形等）、腐蚀坑尺寸分布、坑壁倾角测量、表面粗糙度（算术平均偏差、均方根偏差）、微观台阶结构、亚表面损伤层测试、界面清晰度、腐蚀前沿形貌、表面光泽度变化、污染物残留分析。

3.晶体结构与完整性测试：腐蚀前后晶体取向偏差、位错蚀坑（EPD）密度统计、层错显露与测试、小角晶界腐蚀形貌、镶嵌结构分析、单晶性验证、亚晶界分布、腐蚀诱导的晶格畸变、晶体表面曲率变化、X射线衍射半高宽变化。

4.电学性能影响测试：腐蚀前后载流子浓度变化、迁移率变化、电阻率分布均匀性、肖特基接触特性变化、界面态密度分析、漏电流特性、击穿电压稳定性、电容-电压特性漂移、深能级瞬态谱分析、霍尔效应参数映射。

5.热学性能影响测试：腐蚀区域热导率变化、热扩散系数测量、热膨胀系数匹配性、高温下腐蚀面稳定性、热循环后腐蚀形貌演化、热应力诱导缺陷分析、散热性能测试、热阻测试。

6.化学状态与成分分析：腐蚀表面元素组成（镓、氧、钾残留）、化学价态分析（X射线光电子能谱）、表面吸附物鉴定、氧化层厚度与成分、杂质元素（如硅、铁、铝）在腐蚀前后的分布变化、表面碳污染程度、化学计量比偏移测试。

7.机械性能变化测试：腐蚀后表面纳米硬度、杨氏模量变化、断裂韧性测试、表面残余应力测量、划痕附着力测试、磨损率变化、脆性转变行为、机械强度衰减分析。

8.环境稳定性测试：腐蚀后表面在大气环境中的老化行为、湿度敏感性、抗二次氧化能力、化学溶剂耐受性、长期存储稳定性、紫外光照影响、颗粒吸附倾向。

9.腐蚀产物与溶液分析：熔融碱中镓酸盐浓度监测、溶液粘度与电导率变化、腐蚀产物成分与形貌、溶液杂质积累分析、碱液回收可行性测试、废气成分检测。

10.缺陷选择性腐蚀与测试：位错选择性腐蚀效率、不同缺陷类型的腐蚀形貌特征库建立、缺陷腐蚀动力学差异、缺陷密度统计准确性验证、腐蚀法与其他缺陷检测方法的相关性分析。

11.晶向相关性腐蚀测试：不同晶面（(100)、(010)、(001)、(201)等）的腐蚀速率对比、各晶面腐蚀形貌特征、最佳晶面显露条件优化、晶向偏离角对腐蚀形貌的影响。

12.溶液状态与工艺监控：熔融氢氧化钾含水量控制与监测、溶解氧含量影响、温度均匀性与波动控制、坩埚材料污染测试、腐蚀过程气氛（氮气、氧气、空气）影响、工艺重复性与稳定性验证。

13.腐蚀工艺模拟与预测：基于实验数据的腐蚀速率模型建立、腐蚀形貌演化的相场模拟、热-流-化多物理场耦合分析、工艺窗口预测、缺陷对腐蚀路径影响的模拟。

14.失效模式与机理分析：过腐蚀导致的表面粗糙化、不均匀腐蚀成因分析、腐蚀诱导的微裂纹与碎裂、杂质偏聚导致的局部加速腐蚀、表面钝化层形成与影响、腐蚀停机制研究。

15.工艺验证与器件适用性测试：腐蚀后外延生长质量测试、介质层沉积的界面特性、金属电极附着性测试、最终器件性能（如导通电阻、开关特性）与腐蚀工艺的相关性、工艺整合可行性测试。

检测范围

β相氧化镓单晶衬底、氧化镓外延薄膜、氧化镓功率器件晶圆、氧化镓肖特基二极管、氧化镓场效应晶体管、氧化镓异质结材料、掺杂氧化镓晶体（硅掺杂、锡掺杂等）、氧化镓抛光片、氧化镓切割片、氧化镓厚膜、氧化镓纳米线/纳米片结构、氧化镓紫外光电器件、氧化镓晶锭、氧化镓器件芯片、氧化镓复合衬底、氧化镓晶圆碎片（用于工艺开发）、氧化镓测试结构图形片、氧化镓再生衬底、氧化镓晶圆键合片、氧化镓离子注入层。

检测方法/标准

国际标准：

ASTM F76、SEMI MF1726、ASTM E112、ASTM F1241、IEC 60749、ASTM E490、ASTM E1461、ASTM D3359

国家标准：

GB/T 16594、GB/T 25915.1、GB/T 14264、GB/T 4334、SJ/T 11606、GB/T 4937.1、GB/T 17394.1、GB/T 10125

检测设备

1.熔融碱腐蚀装置：专用高温加热台与白金或银质坩埚，配备精密温度控制系统（精度±1摄氏度）和惰性气体保护环境；用于在可控温度（通常300-400摄氏度）和时间下进行氧化镓的熔融氢氧化钾腐蚀。

2.扫描电子显微镜：用于高分辨率观察腐蚀后的表面形貌、腐蚀坑几何形状与尺寸；配备能谱仪可进行微区元素分析，测试污染与成分变化。

3.原子力显微镜：用于纳米级分辨率测量腐蚀表面的三维形貌、表面粗糙度、台阶高度以及微观力学性能（如模量、硬度）的分布。

4.X射线衍射仪：用于分析腐蚀前后氧化镓晶体的结晶质量、晶格常数变化、残余应力以及晶体取向；高分辨率X射线衍射用于测量衍射峰半高宽。

5.霍尔效应测试系统：用于在变温条件下精确测量腐蚀前后氧化镓材料的载流子浓度、迁移率和电阻率，测试腐蚀工艺对电学性能的影响。

6.热导率测试仪：采用激光闪射法或3ω法，测量腐蚀处理区域的热扩散系数和热导率，测试腐蚀对材料散热能力的影响。

7.X射线光电子能谱仪：用于分析腐蚀表面最外层数纳米的元素组成、化学价态（如镓的价态、氧的化学环境）以及检测钾元素残留和碳污染。

8.纳米压痕仪：用于测量腐蚀后材料表面的纳米硬度与弹性模量，测试腐蚀过程对材料近表面机械性能的改性作用。

9.电化学工作站：可用于研究氧化镓在相关电解质中的电化学行为，辅助理解湿法腐蚀机理，或测试腐蚀后表面的电化学稳定性。

10.台阶仪/表面轮廓仪：用于测量腐蚀深度、大范围表面起伏和平均粗糙度，提供腐蚀速率的宏观数据，测试腐蚀均匀性。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.