电子级水中总有机碳含量分析

检测项目

1.总有机碳总量分析：总有机碳含量，可吹扫有机碳含量，不可吹扫有机碳含量。

2.工艺用水在线监测：超纯水系统产水总有机碳，循环回水总有机碳，工艺设备进水口总有机碳。

3.有机碳形态区分检测：溶解性有机碳含量，颗粒性有机碳含量，挥发性有机碳含量。

4.系统性能验证检测：仪器检测下限验证，仪器精密度验证，方法加标回收率验证。

5.有机物氧化效率测试：紫外氧化效率，过硫酸盐氧化效率，高温催化氧化效率。

6.标准物质与校准：邻苯二甲酸氢钾标准溶液校准，总有机碳标准样品验证，系统空白值校准。

7.样品前处理相关检测：样品酸化与吹扫处理测试，样品过滤均一性测试，样品保存稳定性测试。

8.超纯水系统测试检测：反渗透膜出水电导率与总有机碳关联分析，离子交换树脂有机溶出物测试，终端过滤器截留效率验证。

9.特定工艺环节监控：化学机械抛光后清洗水总有机碳，光刻胶剥离后清洗水总有机碳，晶圆蚀刻后漂洗水总有机碳。

10.对比与趋势分析：不同取样点总有机碳含量对比，总有机碳含量随时间变化趋势分析，总有机碳与电阻率相关性分析。

检测范围

半导体级超纯水、光伏级超纯水、集成电路制造用超纯水、液晶面板清洗用超纯水、微电子工艺冲洗水、晶圆抛光液稀释用水、光刻机冷却循环水、超纯水系统终端产水、超纯水系统循环回水、化学机械抛光后清洗废水、芯片封装测试用水、电子化学品配制用水、实验室分析用一级水、实验室分析用二级水、反渗透膜产水、去离子水、混床离子交换器出水、紫外线消毒器后管路水、储水罐与输送管道内壁淋洗水

检测设备

1.总有机碳分析仪：用于高精度测定水样中总有机碳及可吹扫有机碳的含量；通常采用高温催化氧化或紫外过硫酸盐氧化原理，配备高灵敏度非色散红外检测器。

2.在线总有机碳监测仪：用于对超纯水系统进行连续、实时的总有机碳含量监测；具备自动校准、报警功能，可无缝集成至过程控制系统。

3.超纯水制备系统：用于制备符合检测要求的高纯度空白水与稀释用水；系统通常包含反渗透、电去离子、紫外线氧化及终端过滤等多级纯化模块。

4.高精度天平：用于精确称量标准物质与试剂；具备防风罩和校准功能，确保称量结果的准确性。

5.恒温水浴锅：用于在特定温度下对标准物质进行溶解或对样品进行恒温处理；控温精度高，温度均匀性好。

6.超声波清洗器：用于对样品瓶、进样管等玻璃器皿进行高效清洗，以去除有机物污染；可提供稳定的超声频率与功率。

7.惰性气体净化装置：用于提供高纯度的无二氧化碳、无有机杂质的气体，作为仪器载气或样品吹扫气；通常内置多级气体纯化管。

8.样品自动进样器：用于实现大批量样品的高通量、自动化分析与序列进样；可编程控制，减少人为操作误差。

9.实验室超纯水机：为实验室内部分析步骤即时提供符合要求的超纯水；产水电阻率与总有机碳指标稳定可靠。

10.数据采集与处理系统：用于接收、记录、存储与分析检测仪器输出的原始数据；具备生成标准曲线、计算浓度和输出合规报告的功能。

相关检测的发展前景与展望

随着半导体制造工艺不断向更小线宽、更高集成度演进，对电子级水中总有机碳含量的控制要求将愈加严苛，检测下限需求将持续向更低水平推进。检测技术将朝着更高灵敏度、更快响应速度及更高自动化程度发展，在线、实时、原位监测技术将成为主流，以实现工艺过程的超前预警与闭环控制。此外，针对新型复杂有机污染物的识别与溯源分析需求将增长，推动总有机碳检测与质谱等联用技术的发展。标准化进程也将加速，以统一不同方法与仪器间的数据可比性，为全球电子产业链提供一致的质量评判基准。智能化数据管理系统的深度应用，将使得海量检测数据得以有效挖掘，服务于良率提升与预测性维护。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.