MEMS 传感器灵敏度测试

检测项目

1.灵敏度测试：静态灵敏度、动态灵敏度、灵敏度温度系数、灵敏度线性度、灵敏度重复性、灵敏度迟滞、交叉轴灵敏度、频率相关灵敏度、灵敏度漂移、灵敏度分辨率、灵敏度阈值、灵敏度饱和点、灵敏度非线性校正、灵敏度校准曲线。

2.线性度测试：线性误差、非线性度、拟合直线偏差、端点线性度、最小二乘线性度、线性范围、线性回归分析、线性度温度影响、线性度重复性、线性度迟滞。

3.重复性测试：重复性误差、标准差、变异系数、多次测量一致性、重复性温度稳定性、重复性时间稳定性、重复性负载影响、重复性环境适应性。

4.迟滞测试：迟滞误差、回差、迟滞循环、迟滞温度依赖性、迟滞频率响应、迟滞校准、迟滞非线性分析。

5.温度影响测试：温度系数、温度漂移、高温灵敏度、低温灵敏度、温度循环稳定性、热冲击响应、温度补偿效果、温度灵敏度线性度。

6.频率响应测试：带宽、共振频率、相位延迟、幅度响应、频率相关灵敏度、频率线性度、频率稳定性、频率扫描测试。

7.噪声性能测试：本底噪声、信噪比、噪声频谱、噪声温度影响、噪声频率特性、噪声抑制能力、噪声校准、噪声阈值。

8.交叉轴灵敏度测试：交叉轴干扰、轴间耦合、交叉轴误差、交叉轴温度系数、交叉轴频率响应、交叉轴校准。

9.长期稳定性测试：长期漂移、老化效应、稳定性时间曲线、稳定性温度影响、稳定性负载测试、稳定性环境适应性。

10.环境适应性测试：湿度影响、振动灵敏度、冲击响应、盐雾腐蚀、低气压效应、机械应力影响、环境循环测试。

11.动态特性测试：动态响应时间、阶跃响应、频率响应函数、动态线性度、动态迟滞、动态噪声、动态校准。

12.静态特性测试：静态校准、静态线性度、静态重复性、静态迟滞、静态温度稳定性、静态负载影响。

13.校准测试：校准曲线拟合、校准误差、校准重复性、校准温度补偿、校准频率校正、校准交叉轴调整。

14.可靠性测试：寿命测试、加速老化、失效分析、可靠性指标、可靠性环境模拟。

15.功能测试：输出信号完整性、功能响应、功能故障检测、功能安全测试。

检测范围

微加速度计、微陀螺仪、微压力传感器、微麦克风、惯性测量单元、磁力计、湿度传感器、温度传感器、流量传感器、光学微机电系统开关、射频微机电系统开关、生物微机电系统传感器、化学传感器、声学传感器、振动传感器、倾角传感器、压力变送器、加速度模块、陀螺仪模块、组合导航系统、微执行器、微流量控制器。

检测方法/标准

国际标准：

IEC 60747-14-1、ISO 16063-1、ISO 16063-21、IEEE 1451.0、IEEE 1451.1、IEC 61000-4-2、IEC 61000-4-3、IEC 61000-4-4

国家标准：

GB/T 18459、GB/T 7665、GB/T 15478、GB/T 191、GB/T 2423.1、GB/T 2423.2、GB/T 17626.2、GB/T 17626.3

检测设备

1.振动台系统：用于施加精确振动输入，测试动态灵敏度和频率响应；宽频率范围，可调振幅，多轴控制能力。

2.静态校准装置：用于测量静态灵敏度和线性度；高精度力或压力源，位移测量功能。

3.数据采集系统：用于信号采集和分析；多通道同步，高分辨率模数转换。

4.环境试验箱：提供可控温度湿度环境，进行温度影响测试；温度范围从零下70摄氏度至零上150摄氏度，湿度控制可选。

5.频谱分析仪：用于频率响应和噪声频谱分析；宽频带，高动态范围。

6.噪声分析仪：用于本底噪声和信噪比测量；低噪声放大器，频谱分析功能。

7.显微镜系统：用于传感器结构检测和缺陷分析；高放大倍数，图像记录能力。

8.激光干涉仪：用于高精度位移测量和动态响应测试；非接触式，亚微米分辨率。

9.信号发生器：用于提供标准输入信号；可编程波形，频率精度高。

10.数字示波器：用于观察输出信号和响应时间；高采样率，多通道输入。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.