TDDB测试

检测项目

1.电介质击穿测试：击穿电压、漏电流特性、时间到击穿、电场加速因子、温度依赖性、威布尔分布参数、失效时间统计、介质厚度影响、界面特性分析、应力条件优化等。

2.加速寿命测试：高温存储寿命、电场加速寿命、温度循环加速、湿热加速、电压应力加速、时间相关失效、寿命预测模型、加速因子计算、失效机制识别、可靠性测试等。

3.失效分析测试：击穿点定位、微观结构观察、元素成分分析、界面缺陷检测、热效应测试、电迁移现象、介质退化分析、失效模式分类、根因分析、修复建议等。

4.电性能测试：电容测量、介电常数、绝缘电阻、击穿场强、漏电流密度、电压应力响应、频率特性、阻抗分析、电荷 trapping 效应、偏压温度不稳定性等。

5.环境适应性测试：高低温循环、湿热测试、温度冲击、低气压测试、盐雾测试、振动测试、机械冲击、正弦振动、随机振动、温度湿度偏差等。

6.材料特性测试：介质成分、厚度均匀性、界面粗糙度、晶体结构、杂质含量、热膨胀系数、机械强度、化学稳定性、表面形貌、能带结构等。

7.统计可靠性测试：失效分布拟合、寿命数据统计分析、置信区间计算、加速测试验证、样本大小确定、数据归一化、异常值处理、模型验证、预测精度测试等。

8.热性能测试：热传导系数、比热容、热扩散系数、高温存储、低温存储、热循环、热冲击、温度梯度、热稳定性、热失效阈值等。

9.界面特性测试：界面态密度、陷阱能级、电荷注入、界面反应、扩散现象、粘附强度、电化学稳定性、界面能级对齐、界面修饰效果等。

10.电场应力测试：恒定电压应力、阶梯电压应力、脉冲电压应力、交流电场、直流偏压、电场分布、应力松弛、电场诱导失效、应力恢复等。

11.寿命预测测试：加速老化模型、失效时间外推、应力条件模拟、实际工况对比、寿命衰减曲线、可靠性指标、预测误差分析、模型校准、长期性能测试等。

12.微观结构测试：扫描电子显微镜观察、透射电子显微镜分析、原子力显微镜测量、X射线衍射、能谱分析、拉曼光谱、红外光谱、紫外可见光谱、荧光光谱等。

13.电热耦合测试：温度场分布、电场热效应、焦耳热计算、热失控风险、冷却效果、热管理性能、温度敏感性、热应力分布、电热老化等。

14.工艺影响测试：沉积工艺参数、蚀刻条件、退火温度、掺杂浓度、界面处理、清洁度控制、缺陷密度、均匀性测试、工艺优化等。

15.标准符合性测试：国际标准验证、国家标准对照、测试程序合规、数据记录规范、报告格式统一、质量控制流程、认证要求满足、测试环境标准、设备校准验证等。

检测范围

硅基栅氧化层、高k介质材料、金属-绝缘体-金属结构、氮化硅介质层、氧化铝介质、铪基氧化物、锆基氧化物、有机介质层、复合介质材料、薄膜晶体管、集成电路芯片、功率器件、存储器单元、传感器介质、光电器件、微波器件、射频器件、微机电系统、纳米结构器件、柔性电子介质、高温超导器件、生物医学器件、封装介质层、互连介质等。

检测方法/标准

国际标准：

JESD35、JESD22-A108、IEC 60749-1、IEC 60749-2、IEC 60749-3、IEC 60749-4、IEC 60749-5、IEC 60749-6、IEC 60749-7、IEC 60749-8、IEC 60749-9

国家标准：

GB/T 4937.1、GB/T 4937.2、GB/T 4937.3、GB/T 4937.4、GB/T 4937.5、GB/T 4937.6、GB/T 4937.7、GB/T 4937.8、GB/T 4937.9、GB/T 4937.10、GB/T 4937.11、GB/T 4937.12、GB/T 4937.13、GB/T 4937.14、GB/T 4937.15

检测设备

1.高精度源测量单元：用于施加精确电压和电流应力，测量漏电流和击穿特性；多通道同步测试，数据采集精度高。

2.温度控制箱：提供稳定温度环境，用于加速寿命测试；温度范围从零下100摄氏度至零上300摄氏度，湿度控制可选。

3.探针台系统：实现微区电性能测试，支持多点位测量；自动对位功能，减少人为误差。

4.扫描电子显微镜：用于观察介质层微观结构和击穿点；高分辨率成像，元素分析能力。

5.原子力显微镜：测量表面形貌和界面粗糙度；纳米级精度，力曲线分析。

6.热成像仪：非接触式温度监测，分析热分布；红外摄像头，灵敏度高。

7.电容电压测量系统：测试介质电容和介电特性；频率扫描功能，界面态分析。

8.数据记录与分析软件：处理测试数据，进行统计分析和模型拟合；可视化界面，报告生成。

9.高压电源：提供高电场应力，用于击穿测试；电压稳定，电流限制保护。

10.环境试验箱：模拟各种环境条件，进行可靠性测试；温度湿度控制，循环程序可编程。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.