极高真空检测

检测项目

1. 极限真空度测量：测试系统能达到的最低压力值（≤1×10^-7 Pa）

2. 漏率测试：检测气体渗透速率（≤1×10^-10 mbar·L/s）

3. 残余气体分析：识别H2、CO、CH4等痕量气体（浓度＜1×10^-12 Torr）

4. 材料出气率测定：量化单位面积放气量（＜1×10^-13 mbar·L/(s·cm²)）

5. 表面吸附特性测试：分析水蒸气吸附量（＜1 monolayer）

检测范围

1. 航天器推进系统密封组件（钛合金阀门/不锈钢管路）

2. 粒子加速器超高真空腔体（无氧铜密封圈/陶瓷绝缘件）<3. 半导体镀膜设备反应室（铝镁合金腔体/钼加热器）

4. 同步辐射光束线真空系统（铍窗口/金刚石薄膜）

5. 深空探测仪器防护罩（复合碳纤维/聚酰亚胺薄膜）

检测方法

1. ASTM E595-07(2018)：材料总质量损失与挥发物冷凝测试

2. ISO 21360:2018：真空泵性能测量标准

3. GB/T 3163-2007：真空技术术语与图形符号

4. ASTM F1375-92(2020)：氦质谱检漏仪校准规范

5. GB/T 6070-2007：真空法兰连接尺寸与密封面

检测设备

1. Agilent 5977B四极质谱仪：分辨率0.5amu，检测限1×10^-14 Torr

2. Leybold PHOENIX L300i氦质谱检漏仪：灵敏度5×10^-13 mbar·L/s

3. INFICON Transpector CPM：残余气体分析响应时间＜100ms

4. Edwards XDS35i干式涡旋泵：极限真空5×10^-3 mbar

5. Pfeiffer HIPACE700分子泵：抽速685L/s（N2）

6. MKS 925B电容薄膜规：量程1×10^-4~1000Torr

7. Varian StarCell电离规：测量范围1×10^-10~1×10^-3 Torr

8. Ulvac G-Tran APG-L1：气密性测试精度±0.05%FS

9. Canon Anelva MRH-2000：出气率测试温度范围-196~500℃

10. Kurt J.Lesker AGS-TDS2000：热脱附谱分析系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.